日本进口日立高分辨热场发射扫描电镜SU3800SE/SE Plus

日本进口日立高分辨热场发射扫描电镜SU3800SE/SE Plus

SE系列集高性能与通用性于一身

SU3900/SU3800 SE系列作为FE-SEM产品，配置超高分辨率与观察能力，而且不像部分SEM产品，受安装样品尺寸与重量的限制，此系列可以通过简单的操作实现数据采集。可用于钢铁等工业材料，汽车、航空航天部件等超大、超重样品的观察。

此外，SE系列包括4种型号（两种类型，两个等级），满足众多领域的测试需求。用户可以根据实际用途（如微观结构控制：用于改善电子元件、半导体等材料的功能和性能；异物、缺陷分析：用于提高产品品质）选择适合的产品。

产品主要特点

兼顾高分辨与大束流

肖特基热场电子枪，既可以做纳米级形貌成像，又可输出 150nA 大束流，EDS 面扫描、EBSD 晶粒取向采集速度快，成像 + 成分一体化分析。

可变压力低真空 VP 模式

陶瓷、高分子、复合材料、粉末样品，无需喷金可直接观察，避免喷金镀层掩盖真实表面。

内置导航光学相机，自动对焦、自动消像散，支持 SEMMAP 大面积拼接成像，适合工厂常态化失效分析。

相比 SU3900SE：SU3800SE 样品仓更小、承重 2kg；SU3900SE 最大 φ300mm，承重 5kg，适合整块 PCB、大零部件。常规中小样品优先选 SU3800SE Plus，成本更低。

苏州国产化生产，国内备件、售后维保响应优于纯进口机型。

典型应用场景

半导体行业：功率器件、芯片封装、陶瓷基板、晶圆形貌观察 + EDS 元素分析；

新能源材料：锂电池极片、隔膜、涂层、粉末材料形貌与截面分析；

金属材料：断口失效分析、镀层、晶粒观察，搭配 EBSD 做晶粒取向；

高分子、陶瓷、复合材料：不导电样品免喷金观察。

主要技术特点

大样品仓设计与低真空观测能力

电子显微镜是进行材料形貌评价与分析的重要手段，直接观察原始样品是常见需求。SU3900 / SU3800 SE 系列搭载大容积多用途样品仓，支持可变低真空（VP）模式。在此模式下，非导电样品无需喷金即可直接观察；同时，超大、超重样品无需切割或破坏，可直接置于样品台上进行多角度观测。

• 标准化样品更换流程：通过联锁装置等多重保障机制，降低人为操作失误风险。

• 光学相机视野搜索：可在光学相机图像全范围（最大直径 229 mm）内快速定位目标观察区域。

• 自动调整功能：内置自动调整程序，无需依赖复杂操作技巧，即可获得高质量图像，简化 FE-SEM 使用门槛。

高分辨率与极表面观察

该系列搭载新开发的热场电子枪，在高加速电压和低加速电压区域均可获得超高分辨率图像。SE Plus 高端型号特别优化了极低压下的表面观察能力。标配低电压高灵敏度背散射电子探测器（BSD），可切换采集信号以获取成分衬度与表面凹凸信息。配合选配的 UVD（紫外荧光探测器），可实现多种模式的综合观察。

自动化与辅助功能

选配 EMFlow Creator 软件可实现图像的自动连续获取。该软件将放大倍率、样品台位置、对焦/对比度调整等 SEM 功能转化为可组合模块，用户可通过拖拽方式像流程图一样创建自定义观察程序，执行后即可实现全自动观测。

典型应用案例

• 铁丝断面：确认韧性断裂引起的微小孔洞。

• SUS316 不锈钢：观察位错结构产生的线状衬度。

• 电路板：通过低倍率、高倾斜观察，确认贴装元件的立体形状及位置。

• 多层陶瓷电容器横截面：观察镍电极与电介质层的成分及晶体衬度。

• 氧化锌颗粒：分辨约 50 nm 的细小颗粒及其立体形状。

• 高熵硬质合金薄膜：观察不同成分及形状颗粒的分布情况。

• 锂离子电池正极材料：观察正极材料颗粒与周围粘合剂的分布。

• 锂电池负极材料：利用电位衬度观察负极材料中的粘结剂成分。

  核心技术规格
  
  

• 项目	SU3800SE / SU3800SE Plus
  电子枪	ZrO/W 肖特基（热场发射）
  二次电子分辨率	0.9 nm@30 kV；2.5 nm@1 kV 1.6 nm@1 kV（仅 Plus 版，减速着陆电压模式）
  放大倍率	5～600 000×
  加速电压	0.5‑30 kV；Plus 版着陆电压 0.1‑2 kV
  探针束流	最大150 nA（大束流适配 EDS/EBSD）
  真空模式	高真空 + VP 可变低真空 6‑150Pa，不导电样品免喷金
  样品台	5 轴优中心电动台 X：0‑100 mm；Y：0‑50 mm；Z：3‑65 mm T 倾斜‑20°～+90°；R 360° 连续旋转
  样品仓	最大 φ200 mm，高度 80 mm；最大样品重量 2 kg