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FE‑5000 系列
大塚FE-5000光谱椭偏仪,支持紫外-可见光波段及全自动变角测量。配备自动相位差板机构,精准解析0.1nm超薄膜及多层结构,适用于半导体晶圆与光学薄膜的高效检测。
UVISEL 2 VUV
HORIBAUVISEL2VUV真空紫外椭偏仪,覆盖147-2100nm波段。具备快速抽真空与低氮耗设计,无损精准测定纳米薄膜厚度及光学常数,适用于半导体研发。
主营产品:
拉曼光谱仪
椭偏仪
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