日立超高分辨肖特基场发射扫描电子显微镜SU8700
400-616-7676转3323
核心参数
仪器种类
台式/桌面型
电子枪种类
热场发射
电镜类型
超高分辨场发射
二次电子图象分辨率
0.6 nm@15kV；0.8 nm@1kV；0.9 nm@0.3kV
放大倍数
20～2000000×
加速电压
0.1‑30kV（可选 0.01‑30kV），着陆电压 0.01‑7kV
最大样品尺寸
最大 φ150mm
样品台
5 轴电动马达驱动；X：0‑110mm；Y：0‑110mm；Z：1.5‑40mm；T：‑5°～+70°；R：360° 连续旋转
标配检测器系统
UD 上探测器、MD 中探测器、LD 下探测器
选配检测器系统
UVD 低真空探测器、PD‑BSED 背散射探测器、STEM 明场、HAADF 探测器、EDS、EBSD
仪器介绍
日立超高分辨肖特基场发射扫描电子显微镜SU8700
随着快速数据采集和数据处理技术的发展，电子显微镜进入了一个不仅重视数据质量，而且注重其采集过程的时代。SU8700作为一款面向新时代的SEM，在日立电镜贯有的高图像质量和高稳定性的基础上，增加了包括自动获取数据等高通量的功能。
超高分辨观察和超强分析能力
日立的高亮度肖特基场发射电子枪可同时支持超高分辨观察和快速微束分析。在不使用样品台减速的情况下，仅用10V的低加速电压仍可进行高分辨观察，适应更多应用场景。
同时，可搭配多种新型探测器和其他丰富的选配项，满足更多的观测需求。
先进的自动化功能”
EM FowCreator允许客户创建连续图像采集的自动化工作流程。EM FOw Creator将不同的SEM功能定义为图形化的模块，如设置放大倍率、移动样品位置、调节焦距和明階对比度等。用户可以通过简单的鼠标拖拽，将这些模块按逻辑顺序组成一个工作程序。经过调试和确认后，该程序使可以在每次调用时自动获得高质量、重现性好的图像数据。
用户界面和样品室配置
支持双显示器，6通道同时显示
1,2,4或6通道信号可在同一个显示器上同时显示，可切换内容包括SEM各探测器以及样品室相机和导航相机。
可以通过使用两个显示器来扩展工作空间，可定制的用户界面以提高工作效率。
导航相机
可安装样品室内置式导航相机。
自动拍摄样品台的图像，并传输到SEMMAP画面上，方便导航观察位置，快速切换观察区域。
样品室相机”
实时监测样品室内情况，在多附件的复杂情况下确保样品安全移动。可切换彩色/黑白。
应用案例：
半导体器件
7 nm制程SRAM的电位衬度
SEM的电位衬度图像是一种非常有效的半导体器件缺陷可视化方法。
半导体器件的不同层面，SEM需要调节不同的参数（如加速电压）。
SU8700在不使用样品台减速的条件下，可提供低至0.01 kV*的加速
电压，从而在最佳条件下实现电位衬度观察。
3D NAND存储单元的平面观察
图为3D NAND的存储单元可清晰的观察到电容器件中小于10纳米的氮化硅层，氧化硅层和多晶硅层结构。
日立超高分辨肖特基场发射扫描电子显微镜SU8700
| 表单字段 | SU8700 参数值 |
|---|---|
| 仪器种类 | 扫描电子显微镜（SEM） |
| 电子枪种类 | 肖特基场发射电子枪（热场发射） |
| 电镜类型 | 超高分辨肖特基场发射扫描电子显微镜 |
| 二次电子图象分辨率 | 0.6 nm@15kV；0.8 nm@1kV；0.9 nm@0.3kV |
| 放大倍数 | 20～2 000 000× |
| 加速电压 | 0.1‑30kV（可选 0.01‑30kV），着陆电压 0.01‑7kV |
| 背散射电子图像分辨率 | 无官方标称独立 BSE 分辨率，可填【无此项参数】 |
| 最大样品尺寸 | 最大 φ150 mm |
| 样品室可拓展接口数量 | 原厂未公开标准数值，勾选【无此项参数】 |
| 样品台 | 5 轴电动马达驱动；X：0‑110mm；Y：0‑110mm；Z：1.5‑40mm；T：‑5°～+70°；R：360° 连续旋转 |
| 标配检测器系统 | UD 上探测器、MD 中探测器、LD 下探测器 |
| 选配检测器系统 | UVD 低真空探测器、PD‑BSED 背散射探测器、STEM 明场 / HAADF 探测器、EDS、EBSD |
