堀场HORIBA高光谱仪/高光谱成像仪F-CLUE

堀场HORIBA高光谱仪/高光谱成像仪F-CLUE

紧凑型高光谱阴极荧光

F-CLUE采用光纤耦合方案，为阴极荧光成像和光谱分析提供了灵活的接口。

F-CLUE的光谱仪模块结构紧凑稳固，可在不同环境安装。比如配备多种探测器的扫描电镜和/或恶劣的工业条件或极端状况（洁净室、移动实验室…）

与整个CLUE系列一样，F-CLUE的紧凑型设计及可收缩收集臂可与任何品牌的扫描电镜耦合，且不会对扫描电镜性能造成限制。

准确的可视化微调收集镜位置，优化收集效率，确保了CL测试性能以及重现性。

灵活的解决方案，适合各类工作环境：

成像或高光谱CL

牢固的光纤接口

软件为LabSpec 6TM

全自动型光谱仪

可选RGB滤光

简要介绍

F‑CLUE 是堀场 CLUE 系列紧凑型阴极荧光高光谱检测附件，采用光纤耦合方案，可直接加装在各类扫描电镜 SEM 上，无需改动电镜主体结构。

可实现点光谱、线扫描、面扫描高光谱成像，得到样品阴极荧光发光强度、波长、发光分布，和 SEM 形貌图像做关联匹配。

收集探头可电动缩回，不干扰 SEM 原始观测；整机体积小巧，可用于洁净室、工业环境。

标配 LabSpec 6 软件，具备峰拟合、多元统计分析、粒子识别、图谱拼接等数据处理功能；可升级制冷探测器、偏振模块、时间分辨模块等配件。

光谱仪主机可选 microHR 180mm 焦距或 iHR‑320 320mm 焦距，最多支持 3 块光栅切换，覆盖紫外‑可见‑近红外波段。

实际案例用途

半导体材料：晶圆、LED 外延片、氮化镓、碳化硅缺陷检测，识别位错、晶格损伤，分析发光区域均匀性；第三代半导体器件失效分析。

矿物地质：矿物阴极荧光发光特征，区分矿物相、裂隙、包裹体，岩石薄片微区光谱成像。

材料科研：荧光粉体、陶瓷、纳米材料、量子点，研究缺陷态、载流子复合机制；

光伏电池：钙钛矿、硅电池微区发光分布，识别电池局部缺陷、漏电区域。