TORAY 东丽微量氧分析仪 RF‑400‑01
400-616-7676转3323
仪器介绍
TORAY 东丽微量氧分析仪 RF‑400‑01
新颗粒过滤器
无需拆卸设备中的氧气分析仪即可更换
特殊滤波器
提升氧传感器的耐用性
宽广的交流电范围
支持100 V至240 V交流电
便捷的测量范围
0至10,000 ppm的测量范围，常用于氮气回流系统（0–1%范围亦可选择）
体积紧凑且易于安装
，深度比传统设备短。节省空间。
适用标准
| 参数项 | 填写内容 |
|---|---|
| 测量范围 | 0～1000ppb、0～10ppm、0～100ppm、0‑100% vol O₂多量程自动切换 |
| 分辨度 | 0.1ppb（ppb 量程）；0.01% vol（高浓度量程） |
| 重复性 | ±2%FS |
| 稳定性 | ±3%FS/24h |
| 温度补偿 | 内置温度补偿 |
| 通讯接口 | RS‑232C、4‑20mA 模拟输出、报警继电器接点 |
| 外形尺寸 | 144 (H)×144 (W)×250 (D) mm，面板嵌入式 / 台式两用 |
| 环境温度 | 0～+45℃ |
产品具体介绍
RF‑400‑01 是日本东丽工程 TORAY‑ENGINEERING 抽吸式氧化锆微量氧分析仪，主打 ppb 超微量氧检测，内置取样泵，无需外接真空泵，支持控制柜面板嵌入或者桌面摆放。
检测原理：氧化锆浓差电池传感器，针对超高纯气体做传感器优化，可实现 ppb 级氧气杂质检测，仪器自动多量程切换，兼顾微量与高浓度氧测量。
输出配置：4‑20mA 模拟信号、RS232 数字通讯、多路报警接点，可对接 PLC、上位机记录数据。
供电：AC100‑240V 宽电压；整机重量约 6kg。
样气要求：常压抽吸取样，不可直接接真空腔体；样气严禁含有硅蒸气、油雾、卤素、腐蚀性气体，会直接损毁传感器。
和 LC‑450A 差异：LC‑450A 最低 0.1ppm；RF‑400‑01 可以测 ppb 级别，用于纯度更高的特种气体。
实际落地应用案例
半导体行业
高纯氮气、氩气、氦气等载气中 ppb 级氧杂质在线监测；半导体外延、刻蚀工艺供气管路品质监控，提前预警气源氧化污染。
特种气体行业
超高纯气体出厂、充装终端氧气杂质检测，验证气体纯度是否达标。
锂电、MLCC 电子陶瓷
超高纯惰性气氛烧结工序，监控 ppb 级别残氧，防止元器件微量氧化造成良率下降。
手套箱、科研实验室
高端厌氧手套箱、科研惰性气氛装置，取样检测箱内极低氧浓度。
光伏新材料
薄膜沉积、退火工艺超高纯保护气体氧含量监控。
