TORAY 东丽工程分体式氧化锆氧气分析仪 LD‑450
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仪器介绍
TORAY 东丽工程分体式氧化锆氧气分析仪 LD‑450
灵活的布局。氧传感器和低矮调化器分离，大大放宽了设备安装位置的限制。
节省空间。新开发的低矮壁挂转换器消除了对设备深度的担忧。
超高速响应。分离式传感器提供最快的响应速度。
高度耐用的传感器。还会使用特殊涂层以增强耐用性。
适用标准
CE 标记：EN 61010-1，EN 61326-1
RoHS 指令：EN 63000
应用
溅射系统;设备气体纯度管理;工厂管道氩焊（Ar）管理;实验设备;以及测试设备。
传感器兼容真空的NW法兰（16、25、40）和旋入式（3/8R）。选择适合使用状况的类型。
| 参数项 | 填写内容 |
|---|---|
| 测量范围 | 0‑1/10/100/1000ppm、1‑10‑100% vol O₂自动量程；0‑1ppm 为参考非保证量程Toray Engi... |
| 分辨度 | 0.1ppm（低量程）；0.01% vol（高量程） |
| 重复性 | ≥1% FS 量程：±0.5% FS；＜1% FS 量程：±1% FS 或 ±0.1ppm 取较大值東レエンジ... |
| 稳定性 | ±1%FS/24h |
| 温度补偿 | 内置温度补偿功能 |
| 通讯接口 | 4‑20mA 模拟输出 / RS‑232C 二选一；4 点浓度报警、故障、预热就绪无源继电器接点 |
| 外形尺寸 | 转换器：185 (W)×155 (H)×40 (D) mm；SD 传感器可选 NW16/NW25/NW40 法兰 / R3/8 螺纹接口 |
| 环境温度 | 转换器：0‑40℃；传感器：0‑100℃ |
产品具体介绍
LD‑450 为分体插入式氧化锆氧气分析仪，由【壁挂式转换器 LD‑450】+【SD 系列插入式传感器】组成，传感器可以直接安装在真空腔体、炉体壁上，不需要取样泵，真空、常压均可直接测量。
原理：氧化锆浓差电池；传感器与主机之间专用线缆，标配线缆 2m，最长可扩展至 10m，方便主机远离高温腔体安装。
供电：DC24V 直流供电，适合设备机柜集成；整机功耗 60VA，常态 15VA；预热时间≤6 分钟。
输出版本区分
LD‑450‑T：4‑20mA 模拟输出版本
LD‑450‑C：RS‑232C 通讯输出版本
传感器接口可选：NW16/NW25/NW40 真空法兰，或者 R3/8 螺纹；传感器可承受腔体绝对压力 10⁻³Pa～200kPa，真空环境直接测量，无需抽气取样。
使用限制：被测气体禁止含有硅蒸气、油雾、卤素、强腐蚀性气体，会损毁氧化锆传感器；不适合强还原气氛。
实际落地应用案例
半导体真空设备：溅射、沉积真空腔体直接插入测氧，监控真空腔内部氧杂质，半导体设备整机集成配套。
热处理烧结炉：真空烧结炉、气氛炉炉壁直接安装传感器，实时监控炉腔内氧浓度。
锂电、MLCC：真空烘烤、真空烧结工序，腔体内部直接监测残氧。
高端手套箱：箱壁直接插入传感器，无需抽取样气，实时监测箱内氧含量。
科研真空实验设备：各类真空腔体、惰性气氛腔体原位氧监测。
