TORAY 东丽工程 EtherCAT 分体式氧化锆氧气分析仪 LD‑600
400-616-7676转3323
仪器介绍
TORAY 东丽工程 EtherCAT 分体式氧化锆氧气分析仪 LD‑600
EtherCAT通信是可能的。
它非常适合集成到使用EtherCAT通信的设备和应用中。
节省空间的安装是可能的。
氧传感器与薄型传感器的分离显著减少了安装位置的限制。
适用于真空环境
这种直接插入传感器无需采样，即使在真空环境中也能进行测量。
超快响应
我们通过独立传感器实现最短响应时间。
高耐久性传感器
该传感器经过特殊涂层处理以实现高耐用性。
适用标准
| 参数项 | 填写内容 |
|---|---|
| 测量范围 | 0.001ppm～100% vol O₂（0‑1ppm 区间精度不作保证） |
| 分辨度 | 0.001ppm（ppb/ppm 量程）；0.01% vol（高浓度量程） |
| 重复性 | ≥1% FS 量程：±0.5% FS；＜1% FS 量程：±1% FS 或 ±0.1ppm 取较大值 |
| 稳定性 | ±1%FS/24h |
| 温度补偿 | 内置温度补偿功能 |
| 通讯接口 | EtherCAT 总线（CoE、FoE 协议），无 4‑20mA、无 RS232C |
| 外形尺寸 | 转换器：65 (W)×130 (H)×125 (D) mm；SD 传感器总长 100mm |
| 环境温度 | 转换器：0～+40℃；传感器：0～+100℃ |
产品具体详细介绍
LD‑600 为分体插入式氧化锆氧分析仪，整套由【LD‑600 转换器】+【SD 系列插入传感器】组成，本机无面板显示屏，全部依靠 EtherCAT 总线输出数据，专为自动化设备、半导体整机集成开发。
测量原理：氧化锆浓差电池；传感器直接插入腔体，无需取样泵，真空（10⁻³Pa）～常压均可直接原位测量，区别于 LC‑450A 抽吸取样机型。
硬件配置
供电：DC24V，3A 供电；整机功耗 80VA，稳态 30VA；预热时间≤6min。
通讯：仅 EtherCAT 工业实时总线，适配倍福等主流 PLC，高速实时数据交互；无模拟量、无 RS232 串口。
线缆：转换器与 SD 传感器专用屏蔽线缆，标配 2m，最长可扩展至 10m，主机远离高温炉体安装。
传感器接口可选：NW16 / NW25 / NW40 ISO 真空法兰，R3/8 螺纹接口。
产品特点
① 薄型小型转换器，支持控制柜壁挂安装，节省机柜空间；
② 传感器特殊涂层处理，抗劣化，响应速度快；
③ 自动量程切换，覆盖 ppb 微量氧到 100% VOL 高浓度；
使用限制
禁止强还原气氛；高浓度氦气工况测量会受影响；
样气严禁含有硅蒸气、卤素、油雾、腐蚀性气体，会直接损坏氧化锆传感器
实际落地应用案例
半导体行业：溅射、沉积真空腔体原位氧监测；扩散炉、退火炉腔体内部残氧检测；半导体设备整机 OEM 配套，EtherCAT 总线对接设备主控系统。
锂电、MLCC 电子陶瓷：真空烧结炉、真空烘烤炉，直接插入炉壁监测炉内氧含量。
热处理真空炉：真空钎焊、真空烧结，炉腔内部直接测氧，不需要抽取样气。
科研真空设备：各类真空腔体、高端手套箱原位氧浓度监测。
