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仪器介绍
OTSUKA 大塚电子彩色滤光片光谱特征测量装置 LCF 系列

它非常适合FPD生产过程中的所有检查,如色彩滤光片的光学性质检测和玻璃基底的薄膜厚度测试。
特色
一种能够处理彩色滤光片制造过程中所有检测的设备,包括透射光谱测量、色彩测量、浓度测量、胶片厚度测量和反射光谱测量。
适用于多种评估,如彩色滤光片的光学性能和玻璃基板上的薄膜分析。
通过自动对焦和自动像素对准功能,实现高精度测量,并支持通过配方注册实现全自动检查。
测量项目

核心参数:
| 项目 | 参数 |
|---|---|
| 检测器 | MCPD 多通道光谱仪;可选 PMT 高灵敏度检测器选项大塚电子(... |
| 测量光斑 | 最小可至 2μm,针对微小像素单元精准测量大塚科技股... |
| 样品基板尺寸 | 50mm×50mm~G10.5 超大玻璃基板(2940×3370mm),分台式离线机型、产线 Inline 机型大塚科技股... |
| 载台 | X‑Y‑Z 电动自动载台;CCD 相机 + 自动对焦 AF、像素自动对位功能(选配)大塚电子(... |
| 测量模式 | 透射(标配);反射测量(选配) |
| 可测项目 | 透射光谱、透过率;色度 XYZ、xy、Lab*、u'v'、色差、白平衡;OD 光学浓度;膜厚;折射率 n、消光系数 k 薄膜物性解析;像素宽度测量(选配)大塚电子(... |
| 被测对象 | R/G/B 彩色光刻胶、BM 黑矩阵、ITO 导电膜、PI 配向膜、PR 光刻胶、OC 保护层等面板薄膜层 |
产品详细介绍
LCF 系列是 FPD 平板显示行业彩色滤光片 CF 工序的标杆检测设备,分为实验室离线台式机型、产线在线 Inline 机型两大形态。
核心优势:非接触无损检测,不需要对基板切片取样;依靠像素自动对位,精准定位 R/G/B 子像素,对每一个像素做光谱色度评价,避免跨像素测量带来数据偏差。
软件 Recipe 配方登录,可实现全自动批量检测;输出光谱、色度、OD 浓度、膜厚全套数据,导出 CSV 报表,用于品质判定。
模块化选配:可增加反射测量、OD 浓度测量、像素尺寸测量、PMT 高灵敏检测模块;可拓展紫外、近红外波段模组。
产线版可对接面板工厂自动化基板搬运系统,集成 CF 产线,实现流水线在线全检;实验室版本用于研发打样、小批量基板评价。
实际落地案例用途
案例 1:LCD/OLED 彩色滤光片 CF 基板品质管控
对象:LCD 彩色滤光片基板、OLED 彩膜基板;R/G/B 色阻、BM 黑矩阵;
用途:检测各色阻层透射光谱、色坐标、色差,黑矩阵 BM 的 OD 遮光浓度;监控批次之间颜色一致性,研发调色、来料、制程品质判定;面板行业大量导入 G6‑G10.5 产线 Inline 设备。
案例 2:显示光刻胶材料开发验证
对象:彩色光刻胶、BM 黑矩阵材料、OC 保护层、PI 配向膜;
用途:评估光刻胶成膜后的光谱透过、色度、膜厚,筛选材料配方,实验室台式 LCF 做小样评价。
案例 3:Mini‑LED、Micro‑LED 彩膜基板检测
对象:高 PPI 微小像素彩膜基板;
用途:依靠 2μm 微小光斑,对微小子像素单点光谱色度检测,评价像素色彩均匀性。
案例 4:光学滤光片、光学膜片研发
对象:光学彩色滤光片、色转换膜;
用途:测量膜片透射光谱、色度、膜层厚度与光学常数 n/k 解析。