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仪器介绍
OTSUKA 大塚电子单元间隙检测装置 RETS 系列 
支持多种单元,从预嵌入的反射式和透光式液晶显示器到带色彩滤光片的空单元
特色
配备偏振光学和多通道光谱探测器
支持多种尺寸的设备
,从1毫米光学元件到第十代大型基板
液晶线内的检测设备配备安全和粒子防护措施
测量项目
嵌入单元间隙
扭转角 *
摩擦角度 *
前倾角 [TN、IPS、FFS、MVA] *
空格隙 *
重射波长色散(双折射相位差) *
光轴 *
省略比 / 方位角 *
三维折射率 / Rth / β *
光谱光谱 / 颜色 *
测量目标
液晶
单元——透光半透明液晶单元(TFT、TN、STN、IPS、VA、OCB、铁电功率)
——反射式液晶单元(TFT、TN、IPS、VA)
光学材料——其他(相位差、椭圆、偏振薄膜、液晶材料)
核心参数:
| 项目 | 参数 |
|---|---|
| 光学系统 | 偏振光学系统 + MCPD 多通道光谱检出器大塚电子(... |
| Cell‑Gap 测量范围 | 0.1~几十 μm(最大 600μm,Δn=0.1 条件) |
| 相位差测量范围 | 0‑60000nm |
| 测量重复性 | Cell‑gap:3σ ≤0.005μm(cell gap 约 3μm);角度重复性 3σ ≤0.08° |
| 样品尺寸 | 1mm 微小元件 ~ G10.5 代基板(2940×3370mm)大塚电子(... |
| 机型形态 | 离线台式(研发实验室);Inline 在线产线机型(带防尘、粒子对策、产线联锁)大塚电子(... |
| 兼容样品 | 透射、半透射、反射型液晶盒;空盒、灌注液晶成品盒;TN/STN/IPS/FFS/MVA/OCB 各类液晶模式大塚电子(... |
| 可测项目 | 空 Cell‑gap、封入 Cell‑gap;扭曲角 Twist、摩擦配向角 Rubbing、预倾角 Pretilt;相位差及其波长色散、光学轴、三维折射率 Rth/β;分光光谱、色度参数大塚电子(... |
产品详细介绍
RETS 系列是 LCD 行业液晶盒单元间隙 Cell‑Gap 标杆检测设备,无需切片取样,无损完成空盒、灌注液晶后的盒厚检测,同时解析液晶配向全套光学参数。
两大硬件形态
离线台式(RETS‑100NX):研发实验室、小样评估,小基板、实验盒打样评价;配置 XY 电动载台,支持多点 Mapping 扫描盒厚面分布。
Inline 在线量产机型:面板工厂产线集成,具备防尘粒子对策、安全联锁;对接工厂自动化基板搬运系统,G6‑G10.5 大世代基板量产在线检测。
技术优势:多波长光谱解析,相比单波长设备,抗膜厚干涉干扰,测量稳定性更高;自带轴角度补偿,样品摆放偏移也保证测量重现性。
软件:可设置测量 Recipe;输出盒厚云图、CSV 报表;评估基板盒厚均匀性,定位盒厚不良、配向工艺异常问题。
拓展能力:除液晶 Cell 以外,还可以评价相位差膜、偏光片等光学薄膜的 Re/Rth、慢轴角度等参数。
实际落地案例用途
案例 1:LCD 液晶面板工厂制程管控
对象:TFT‑LCD 空盒、封入液晶成品盒;
用途:产线 Inline 机型检测 Cell‑gap 盒厚、基板面内盒厚均匀度;盒厚异常会直接造成亮度不均、色彩漂移、响应速度不良;同步检测预倾角、扭曲角,管控摩擦配向工艺品质,广泛用于 G6‑G10.5 液晶产线。
案例 2:液晶器件、液晶材料研发实验室
对象:实验室自制小型液晶实验盒;
用途:台式 RETS‑100NX 评估新液晶配方、配向膜工艺;对比空盒、灌注液晶后盒厚变化;验证预倾角、扭曲角参数,优化器件设计。
案例 3:车载、工业特种液晶器件
对象:车载显示、工业仪表特种液晶盒;
用途:来料、制程检验,检测盒厚与液晶光学参数,保障高低温工况下显示稳定性。
案例 4:光学相位差薄膜评价
对象:相位差膜、偏光片;
用途:测量 Re/Rth 相位差、慢轴角度、三维折射率,解析薄膜色散特性,用于光学膜材料开发验证。
可选配件
自动 XY 载台,基板多点 Mapping 面扫描;
反射测量单元;
产线基板自动搬运对接接口(Inline 机型);
标准校准基板,整机设备校验溯源。