KOSAKA 小坂研究所高精度台式表面粗糙度・轮廓测量机SE800 系列
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仪器介绍
KOSAKA 小坂研究所高精度台式表面粗糙度・轮廓测量机SE800 系列 
测量可符合国际标准，如ISO、JIS、DIN、ASME和BS，以及各国的新旧标准。 为此，有多种滤波器、截止值、测量长度和计算方法可供选择。
符合各国标准。
数据图表可以自由排列。
各种测量自动化元素可以自由组合，执行一系列测量操作。
更高级的分析和过滤也成为可能。
核心参数：
| 项目 | SE800 系列（基础机型） |
|---|---|
| Z 轴测量范围 | 800 μm |
| Z 分辨率 | 0.04 nm |
| X 轴扫描行程 | 最大 120 mm |
| X 直线度精度 | 0.3 μm /120 mm |
| 标准金刚石触针 | R5μm 90°；可选 R2μm、R1μm 细触针 |
| 扫描速度 | 0.05‑2 mm/s 可调 |
| 载台配置 | 手动 XY 载台；可选电动 XY 自动载台，实现多点 Mapping 面扫描 |
| 执行标准 | ISO、JIS、DIN、ASME 国际粗糙度标准 |
| 可输出参数 | Ra、Rq、Rz、Rt、Rk 系列、波纹度、轮廓、台阶段差，合计 70 + 评价参数；波形曲线、支承率曲线，CSV 报表导出 |
| 驱动方式 | 台式主机，USB 连接电脑软件控制，非无线便携 |
| 适用样品 | 小型元器件到大尺寸板材；可测平面、曲面、台阶、沟槽 |
产品详细介绍
SE800 系列是小坂台式高端触针粗糙度轮廓仪，为实验室品质实验室、研发部门设计，不属于便携机。
机械底座刚性高，X 轴行程 120mm，直线度优于便携系列，测量重复性更好。
支持选配电动 XY 载台，对样品做多点 Mapping 扫描，输出整个样品表面粗糙度 / 段差分布云图，评价面内均匀性。
丰富触针可选：R5μm 通用；R2μm/R1μm 用于微小沟槽、微细图案半导体样品。
软件完整：滤波器切换、取样长度自定义；OK/NG 判定，报告输出，满足 IQC、研发检测追溯。
适合不能用便携机的高精度要求场景；机器体积大，固定放置实验室，不能拿到产线现场手持测量。
实际落地案例用途
案例 1：精密机械零部件实验室检测
对象：轴承、精密齿轮、密封件、模具；用途：实验室入库 / 出货检验，高精度评价粗糙度、轮廓波纹度。
案例 2：半导体、FPD 显示行业
对象：玻璃基板、光刻后台阶、镀膜晶圆；用途：测量镀膜段差、沟槽轮廓，评价刻蚀、镀膜工艺，Mapping 扫描面内均匀性。
案例 3：光学元件
对象：光学镜片、模压光学模具；用途：检测表面粗糙度、波纹度，评估抛光品质。
案例 4：汽车零部件研发实验室
对象：发动机零件、燃油喷嘴；用途：研发阶段高精度轮廓、粗糙度分析。
可选配件
R2μm / R1μm 超细金刚石触针
电动 XY 自动载台（Mapping 扫描）
V 型块、各类样品夹具
粗糙度标准校准块
高、低角度测头组件
