USHIO 牛尾紫外线积算照度计UIT-250

USHIO 牛尾紫外线积算照度计UIT-250

特色：

广泛的测量波长阵容

通过替换光接收段，测量五个波长范围（中心波长172nm/254nm/313nm/365nm/405nm）的照度和温度

多样化的测量模式

照度测量、峰值照度、累计光体积、照度分布、聚光灯照度和温度分布

具备存储功能

内置存储器，支持最多4分钟的照度测量

自动关机

启用或禁用自动关机功能

配备串行通信功能

与PC的串行通信

UIT-250 属于 UNIMETER 系列高端分体式模块化紫外积算光量计，主机需单独选配探头（经典 UVD-S365、UVD-S405 等），相比 UIT-201 增加板载内存、照度分布记录、温度同步测量功能，是半导体 / 显示行业光刻曝光的标准测光仪器。

一、产品详细介绍

概述

UIT-250 是日本牛尾 USHIO多波段可换探头式紫外积算照度计，更换不同受光探头，即可测量 5 个紫外波段（中心 172nm、254nm、313nm、365nm、405nm），还可加装温度探头同步采集温度；支持照度、峰值照度、积分光量、照度分布曲线记录，自带内存，可连接电脑串口通讯导出数据，广泛用于光刻、UV 固化工艺的工艺开发与量产管控。

核心特点

1. 5 波段探头可选分体探头：UVD-S365（i-line 365nm 汞灯）、UVD-S405（405nm UVLED）、UVD-S254、UVD-S313、VUV-S172； 一体化探头：UVD-C365 / C405，耐高温，可直接放置在 UV 固化输送带。 传感器：硅光电池（后台参数直接选用）。

2. 丰富测量模式实时照度、峰值照度、积分光量、照度分布扫描、单点照度、温度分布（选配温度探头 UTD-TK，0~350℃）；内置存储器，最长4 分钟照度曲线连续记录，捕捉曝光过程照度动态变化。

3. 数据输出能力

• 串口通讯：连接电脑，采集并导出数据；

• 模拟 0~1V 输出，可外接记录仪长期在线监测；

• 4 位 LCD 照度显示、5 位积分光量显示，三档量程自动 / 手动切换。

1. 供电与布线3 节 AAA 电池，可选 AC 适配器长期台式使用；标配 2 米信号线，支持延长线缆，主机放外部，探头伸入设备腔体，避免高温损伤主机。可开关自动关机功能，长时间测试不自动断电。

机型对比快速区分

• UIT‑250：带内存，可记录照度分布曲线，可测温，半导体光刻标准机型；

• UIT‑201：基础款，无 4 分钟分布存储，性价比高；

• UIT‑θ365/θLED：超薄一体式无线，专门狭小辊缝。

二、详细实际用途案例（仪器信息网详情直接复制）

案例 1：彩色光刻胶研发整套实验（MS-B100 旋涂 + UIT-250 测光 + CT-1 对比度检测）

场景：彩膜、黑色矩阵光刻胶材料研发实验室 流程：米卡萨 MS-B100 旋涂将彩色光胶涂布在玻璃基板→烘烤固化→放入 i-line 汞灯曝光机。测试目的： 使用 UIT-250 搭配 UVD-S365 探头扫描曝光台面多点照度，记录曝光全过程照度曲线，计算积分曝光能量，评估台面照度均匀性； 判断高压汞灯老化衰减，固定曝光工艺能量窗口，保证每块基板接收能量一致，确保后续壶坂 CT-1 对比度测试数据稳定、可重复对比。

价值：光刻材料 DOE 配方实验必备标准测光仪器，国内大量光阻实验室标配 UIT-250。

案例 2：PCB 线路板 / 干膜 / 阻焊油墨曝光车间点检

场景：PCB 厂接触式 i-line 曝光机，高压汞灯光源。用途：每日 / 每周点检曝光台面照度均匀度；监测汞灯使用周期内的衰减；做新产品曝光工艺 DOE 试验，确定曝光时间与能量阈值，防止线路图形残缺、显影不良、线宽波动。

可以记录 4 分钟照度分布，评估扫描式曝光过程照度动态变化。

案例 3：光学薄膜、硬涂层卷对卷 UV 固化产线

场景：光学硬化膜、防指纹膜连续 UV 固化（汞灯或大功率 UVLED）。用途：选配耐高温一体化探头 UVD-C 系列，直接放在输送带随工件移动，采集整幅幅面照度分布曲线，评估灯组衰减、灯条亮度不均；监控固化能量，防止膜面硬度不足、附着力差、表面发粘。

产线空间足够大选用 UIT-250；辊缝极窄空间才选用 UIT‑θLED 超薄款。

案例 4：MEMS、微流控芯片、纳米压印 405nm UV-LED 曝光工艺

场景：实验室纳米压印、微结构光固化成型，405nm UVLED 面光源。用途：搭配 UVD-S405 探头标定曝光台面照度分布，设定曝光能量，评估 LED 光源长期衰减；可同步采集台面温度，评估温升对光刻树脂成型形貌带来的影响。

案例 5：UV 光源厂商光源出厂标定与第三方计量比对

场景UV 汞灯、UVLED 光源制造企业实验室。 用途：光源出厂前输出照度、光量标定，出具测试报告；用于仪器之间数据比对、年度计量校准，数据可存储导出，方便归档追溯。