USHIO 牛尾分体式紫外受光器（探头） UVD-S365

USHIO 牛尾分体式紫外受光器（探头） UVD-S365

官方名称：受光器，必须搭配 UIT-201 / UIT-250 主机使用，不能单独工作；专为 i-line 365nm 紫外（高压汞灯、365nm UVLED）测光设计，硅光电池传感器，φ1mm 微小受光口径，适合小光斑、局部点位精准测光

一、产品详细介绍

基础概述

UVD-S365 是日本牛尾 USHIO UNIMETER 系列分体式紫外受光探头，S=Separate 分体式结构，BNC 接口，标配 2 米信号线，可选购延长线缆，把探头放进曝光腔体、设备内部，主机留在外面操作。内置窄带滤光片，有效滤除可见光杂散光干扰，专门针对 365nm i-line 光刻光源校准，是半导体彩膜、PCB 光刻行业通用标准探头。

核心规格

• 感度波长范围：310~390nm，校准中心波长 365nm

• 受光口径：φ1mm，空间分辨率高，适合小光斑单点测量

• 校准精度：±5%；非线性≤±1%

• 照度量程：0.01~500 mW/cm²

• 温度特性：-0.2%/℃；使用温度 0~50℃

• 传感器：硅光电池（后台参数直接选择此项）

• 接口：BNC，即插即用，主机自动识别探头参数

核心特点

1. 微小 φ1mm 受光面：专门测局部小光斑、曝光台面单点、图案区域，大面积探头无法实现的局部点位扫描；

2. 分体长线设计：探头体积小巧，伸入曝光机腔体、密闭 UV 固化箱，主机放在外部，避免高温损伤主机；

3. 窄带光学滤光片：抑制可见光干扰，汞灯、365nm UVLED 均可稳定测量；

4. 原厂溯源校准，可定期送牛尾原厂计量，用于工艺数据对标；

5. 依托 UIT-250 主机可采集：实时照度、峰值照度、积分光量、4 分钟照度连续曲线；UIT-201 可测照度、峰值、光量。

区分 UVD-S365 和 UVD-C365 UVD-S365：分体细线探头，φ1mm 小受光面，单点小光斑测量； UVD-C365：一体式大受光面，耐高温，适合输送带随动测量。

二、详细实际用途案例（仪器信息网详情直接复制）

案例 1：彩色光刻胶研发整套 DOE 实验（MS-B100 旋涂 + UVD-S365 测光 + CT-1 对比度检测）

场景：彩膜、黑矩阵、负性光刻胶材料实验室研发 工艺流程：米卡萨 MS-B100 旋涂制备玻璃基板 → 烘烤 → i-line 汞灯曝光。测试目的： 使用 UVD-S365 小口径探头扫描曝光台面多个点位，单点精准采集 365nm 紫外照度，计算积分曝光能量，评估台面照度均匀性； 判断高压汞灯老化衰减，锁定稳定曝光能量窗口，保证每片基板接收曝光能量一致； 保证后续壶坂 CT-1 对比度测试数据稳定，减少实验数据离散，用于光刻胶配方 DOE 对比实验。

优势：φ1mm 小孔径，专门测量基板上局部曝光区域，避开边缘杂光。

案例 2：PCB 线路板、干膜、阻焊油墨接触式曝光点检

场景：PCB 工厂 i-line 接触式曝光机，高压汞灯光源。用途：每日点检曝光台面照度均匀度；扫描台面不同位置单点能量，判断灯管衰减；设定曝光时间，防止曝光不足造成线路图形残缺、显影不良、线宽波动。

小口径探头可以测量 PCB 线路局部曝光区域，评估局部能量差异。

案例 3：365nm UVLED 点光源 / 小面光源工艺验证

场景：光学元器件 UV 胶点胶固化、摄像头模组粘接、小区域 UV 固化。用途：检测 UVLED 点光源光斑中心与边缘照度分布，评估光斑均匀性；验证灯珠衰减，确定固化工艺能量窗口，防止局部固化不足、脱胶、气泡。

案例 4：小型接触式曝光机、MEMS、微流控芯片光刻工艺开发

场景：实验室小型 i-line 曝光设备，掩膜紧贴样品的接触式光刻。用途：探头伸入掩膜与样品之间狭小空间，测量样品表面真实紫外照度；标定曝光能量，优化曝光时间，保证微结构图形成型质量。

案例 5：UV 光源厂商光源单点标定与设备验收

场景：UV 汞灯、365nm UVLED 光源厂家实验室。用途：单点标定小光斑光源输出照度，出具检测报告；作为标准受光器，用于光源出厂验收与仪器之间比对校准。