TOFCO 东富科薄型面板嵌入式面积浮子流量计FM-PX20

TOFCO 东富科薄型面板嵌入式面积浮子流量计FM-PX20
GG 面積式流量計 FM-PX20 是一款基于面积式原理（Variable area flow meter）设计的气体流量测量仪器，通过浮子在锥形管内的位置变化指示瞬时流量。

该仪器核心优势在于结构紧凑、设计简单，同时具备低成本和短交货期的特点。产品通常以空气（常温、大气开放）为基准进行校正，若用户工况不同，可提供针对温度、压力及比重补正后的刻度定制。

FM-PX20 支持多种气体介质的流量监测，包括 AIR、N2、O2、CO2、Ar 以及 C3H8（丙烷）。其流量测量范围广泛，涵盖从 40NmL/min 到 20NL/min 的多个量程段，满足不同微流量至小流量的应用需求。

该流量计的最高使用压力为 0.8MPa(G)，标准密封材质为 NBR，适用流体温度最高 80℃。若需更高耐温性能，可选配 FKM（氟橡胶）密封件，使最高使用温度提升至 100℃。使用环境温度范围为 0~50℃，且要求无结露。

仪器提供灵活的机械配置，包括无针阀、下侧针阀或上侧针阀三种选项，连接口径为 Rc1/8。安装方式支持面板嵌入取付和面板前面取付，便于集成到各类控制面板或实验装置中。

适用场景

• 实验室气体管路流量监控

• 半导体制造微量气体供给系统

• 小型工业燃烧设备气体控制

• 一、产品详细介绍

• 日本 TOFCO 东富科 FM-PX20 是薄型面板嵌入式玻璃锥管浮子流量计，面积式原理，流体由下往上垂直通过玻璃锥管，浮子高度对应流量，无源目视读数，无需供电。机身轻薄，面板开孔嵌入安装；针阀一体化可选，可加装磁性感应开关实现高低流量报警，适合设备狭小面板空间集成。

• 核心规格

• 型号区分：FM-PX20-G（气体） / FM-PX20-W（液体）

• 量程范围

• 气体：40NmL/min ～20NL/min

• 液体：10mL/min ～5L/min

• 接口：Rc1/8"

• 精度：±5% FS

• 最高使用压力：0.8MPa (G)

• 介质温度：标准 NBR 密封最高 80℃；选配 FKM 氟橡胶最高 100℃

• 环境温度：0～50℃（无凝露）

• 接液材质：SCS14（SUS316）、硼硅玻璃锥管，浮子不锈钢；密封 NBR 标配，FKM 可选

• 安装要求：垂直安装，流体自下而上

• 针阀选项：0 无针阀 /1 下侧针阀 /2 上侧针阀

• 可选配件：磁性流量报警开关（接点输出，DC24V，高低流量报警）

• 读数：玻璃锥管浮子，无源现场目视

• 核心特点

• 超薄紧凑机身，相比 FM-PZ 体积更薄，适配设备狭小面板空间，节省机柜空间；

• 一体式针阀可选，流量计本体直接调节流量，减少管路阀门与接头，降低泄漏风险；

• 无源可视读数，断电也能直观观察浮子，快速确认管路通断；

• 可加装磁性报警开关，输出开关信号接入 PLC，做断流 / 低流量联锁保护；

• 接液 SUS316，耐腐蚀性更好，适配超纯水、洁净氮气、氩气等；

• 短交货周期，性价比高，半导体设备标准化机台大量选用。

• 二、实际落地应用案例

• 半导体行业：清洗机、刻蚀机微小吹扫氮气、DI 超纯水支路面板流量监测；

• PCB 设备：蚀刻、清洗设备内部药液、纯水小流量就地显示；

• 实验室 / 分析仪器：保护气、载气微小流量监测与调节；

• 热处理、焊接设备：氩气、氮气微量保护气监控；

• 小型温控设备：冷却水路微小流量目视监测。

• 选型对比 FM-PX20：薄型面板嵌入式，Rc1/8，微小流量，经济型短交期 FM-PX25：同系列，可视段更长，读数更方便 FM-PZ25：小型面板款，接口 Rc1/4，机身比 PX20 厚 FM-PR：面板嵌入式，中大流量规格