TOFCO 东富科一体式针阀面积浮子流量计FC-CX30

TOFCO 东富科一体式针阀面积浮子流量计FC-CX30

FC-CX30 是一款基于面积式原理（Variable area flow meter）设计的气体流量测量仪器，通过浮子在锥形管内的位置变化来指示瞬时流量。该设备采用丙烯酸树脂（PMMA）作为主体材料，具备结构紧凑、外观简洁及耐高压（最高0.7MPa(G)）的特性，专为需要低成本、短交期且对洁净度有要求的气体流量监控场景打造。

核心技术特点

流量测量精度为满量程的±5%，确保了工业过程控制中的基本数据可靠性。仪器支持0 至 55℃的使用环境温度及流体温度，并提供了无针阀和下侧带针阀两种结构选项，以适应不同的管路调节需求。主体材质包含 PPS、NBR、PMMA 及 SUS304/SUS316 不锈钢，浮子材质可选 BSBM 或 SUS304，关键密封件采用 FKM（氟橡胶）以增强耐腐蚀性。

测量范围覆盖 5 至 300NL/min，具体规格包括 5~60、10~100、20~200 及 40~300NL/min 等多种量程，默认校准条件为空气在 1atm/20℃环境下。连接接口标准化为Rc1/4 或 Rc3/8，便于快速集成到现有气路系统中。需要注意的是，由于主体采用树脂材料，严禁混入药品使用，以免损坏设备。

适用场景

• 半导体制造车间气体输送监控

• 实验室分析仪器载气流量控制

• 工业自动化产线气动系统检测

• 一、产品详细介绍

• 日本 TOFCO 东富科 FC-CX30 面积式浮子流量计，流体垂直下进上出，浮子高度对应流量读数；本体底部集成精密针阀，可直接现场手动微调流量；透明亚克力壳体，无源目视读数。标准款仅现场观察，带 B 后缀型号加装磁性感应开关，输出开关量实现高低流量报警。

• 核心规格

• 型号区分：FC-CX30W（液体） / FC-CX30G（气体）

• 量程

• 液体 W：0.4～5L/min、1～10L/min 两档

• 气体 G：5～300NL/min

• 接口：Rc3/8"

• 精度：±5% FS

• 最高使用压力

• 液体：2.0MPa (G)

• 气体：0.7MPa (G)

• 介质最高温度：55℃

• 环境温度：0～55℃，无凝露

• 材质

• 本体：PMMA 亚克力（⚠️禁止接触丙酮、强有机溶剂）

• 锥管：高硼硅玻璃

• 浮子 / 接头：SUS304；针阀阀芯 SUS316

• 密封：标准 NBR，可选 FKM 氟橡胶

• 安装要求：垂直安装，流体下进上出

• 可选配件：磁性流量报警开关（DC12~24V，NPN/PNP、A/B 接点）

• 读数：透明壳体 + 玻璃锥管，无源目视，无需供电

• 核心特点

• 自带一体式针阀，流量计本体直接调节流量，减少外部阀门，节省管路空间；

• 亚克力透明壳体，耐压性能良好，经济型量产机型，交期短；

• 支持面板嵌入安装，设备面板开孔直接固定；

• 可选磁性报警开关，输出开关信号接入 PLC，做断流 / 低流量联锁保护；

• 洁净型结构，适配 DI 超纯水、洁净氮气、干燥空气；

• 结构简单，维护方便；亚克力材质限制，不可用于强腐蚀有机溶剂。

• 二、实际落地应用案例

• 半导体行业：湿法清洗设备纯水支路、氮气吹扫气流量监测与调节；

• PCB/FPC 设备：显影、清洗工位纯水流量控制；

• UV 曝光、等离子清洗设备：保护氮气流量调节监控；

• 工业自动化设备：设备冷却水路小流量监测；

• 实验室设备：气体、纯水试验回路就地流量调节与目视观察。

• 选型对比 FC-CX30：亚克力壳体，带内置针阀，经济型，面板安装，耐温上限低 55℃ FC-S：金属外护壳硼硅玻璃款，无内置针阀，耐温更高，抗有机溶剂 FM-PX20：薄型面板嵌入式，机身更薄，不带一体式针阀