TOFCO 东富科液体流量控制器FLC4000R

TOFCO 东富科液体流量控制器FLC4000R 

FLC4000R 流量控制器是一款集成了流量控制所需所有功能的专用控制设备，核心用途在于实现高耐化学性流体的精密流量调节。

该设备基于空气驱动方式与超声波流量检测技术原理，通过空气式控制阀调节流量，利用超声波流量计进行实时监测，接液部材质全部采用氟树脂（PTFE、NEW PFA），确保了优异的耐药品腐蚀性能。

FLC4000R 流量控制器具备高速响应与高精度控制特性，相比传统的电机驱动方式，空气驱动方式使其响应时间控制在 3 秒以内，控制精度达到指示流量的±2%（R.D.），流量精度为满量程的±1.0%（F.S.）。

FLC4000R 流量控制器内置专用 PID 控制算法，电装部配备专用 PID 控制器（MEC100SV），支持最大 6 分割的分区 PID 控制方式，能够适应不同流量段的精确控制需求，并提供上下限二段警报输出及 Fail 处理功能。

适用场景

• 半导体湿法工艺药液输送系统

• 化学分析实验室试剂添加装置

• 制药行业高纯度流体控制系统

• 一、产品详细介绍

• 日本 TOFCO 东富科 FLC4000R，由超声波流量检测单元 + 气动比例控制阀 + 独立控制单元三部分构成；分体式设计，检测探头可直接安装在狭小设备管路，控制器可放置在机台控制柜，安装自由度高。控制器接收外部模拟量设定信号，实时比对超声波测得实际流量，驱动气动阀自动调节开度，实现闭环恒定流量控制。接液全部为氟树脂（PFA/PTFE），强耐化学腐蚀，无金属接触介质。

• 核心规格

• 测量介质：DI 超纯水、各类半导体湿法药液（酸、碱、显影液等）

• 流量量程（多型号可选）：30mL/min～5L/min

• 接口：3/8" PFA 软管连接

• 控制精度：±2% FS

• 流体一次侧供给压力：0.05～0.3 MPa (G)

• 接液材质：PFA、PTFE（全氟树脂，无金属）

• 驱动方式：气动驱动控制阀，对比电机式响应更快

• 信号接口

• 设定输入：4-20mA / 0-5V /1-5V

• 流量输出：4-20mA 瞬时流量反馈，报警接点输出

• 介质温度：5～50℃

• 结构特点：分离式（传感器本体和控制盒分开）

• 核心特点

• 分体式结构，检测头体积小巧，可装在设备狭小腔体附近，控制单元放置在电控柜，布线灵活；

• 全氟树脂接液 PFA/PTFE，完全无金属接触药液，适配半导体各类强酸强碱药液、超纯水，不易析出污染晶圆；

• 气动比例阀，闭环自动流量控制，外部模拟信号设定目标流量，自动维持流量稳定；

• 超声波测量原理，管路内无活动部件，不会卡堵、无磨损，维护量低；

• 自带瞬时流量显示，流量值回传 PLC，超限报警输出，便于设备制程监控与联锁；

• 专为半导体湿法清洗、蚀刻设备开发，控制稳定，减少晶圆批次间流量差异。

• 二、实际落地应用案例

• 半导体湿法清洗设备：晶圆清洗槽超纯水、清洗药液精密定量供给；

• PCB/FPC 蚀刻、显影设备：药液循环回路精准流量控制；

• 药液稀释配比系统：多种药液按比例混合，精准控制各路液体流量；

• 精密化学供给单元：半导体工艺化学品输送微量流量控制；

• 实验室化学流体精密配液系统。

• 选型对比 FLC4000R：分体式，超声波 + 气动阀，闭环自动控制，有源信号，全 PFA 接液，半导体药液主力款 FLC-US40：同系列一体式流量控制器，传感器与控制阀一体，安装紧凑 FM-PZ / FC-CX：浮子流量计，仅目视观察，无自动流量调节功能