TOFCO 东富科一体式液体流量控制器FLC-US40

FLC-US40 是一款集成流量计与控制阀的紧凑型流量控制器（Flow Controller），基于步进电机（Stepping Motor）驱动技术，旨在为高纯度去离子水（DIW）及各类药液提供高精度的流量调节与稳定控制。

该仪器具备卓越的动态响应性能，阀门从全闭状态切换至全开状态仅需0.3 秒，在常规流量控制过程中的响应时间约为 1 秒。其有效控制范围达到1:20，并内置过冲抑制功能与累积流量预测功能，确保在快速变工况下仍能保持流量的高度稳定性与再现性。

FLC-US40 支持多种通信与控制方式，标配Modbus RTU串行通信协议，最多可串联控制 31 台设备；同时提供 4-20mA 模拟信号用于指令输入与流量输出。设备顶部配备8 色状态指示灯（LED），可直观显示正常运行、零点调整、警告（如阀门寿命、压力不足）及各类错误（如传感器故障、内存错误）状态，便于快速故障诊断与维护。

适用场景

• 半导体晶圆制造湿法工艺单元

• 高纯化学品输送系统

• 精密分析仪器流体控制模块

• 一、工作原理

• 本体集成超声波流量传感器 + 步进电机驱动流量调节阀。

• 超声波实时采集管路瞬时流量；

• 内置 CPU 对比【外部设定流量值】与【实测流量】；

• 高速步进电机驱动阀芯自动调节开度，形成闭环 PID 控制，抑制流量超调（Overshoot），稳定维持目标流量。

• 二、核心规格参数

• 项目	参数
  型号	FLC-US40（可带后缀区分量程、接液材质、接口）
  测量介质	超纯水、各类半导体药液（酸碱、显影液、清洗液）
  流量调节比	1:20（宽量程比，一台覆盖宽流量区间）
  阀体驱动	高性能步进电机；全闭↔全开响应 0.3s
  接液材质	PFA/PCTFE（无油脂结构，半导体高纯流体适用）
  供电	DC24V
  模拟信号	4-20mA（流量设定输入 + 实际流量反馈输出）
  数字通讯	Modbus RTU，总线最多串联 31 台
  状态指示	8 色 LED，直观查看运行 / 报警状态
  附加功能	流量积算预测、过冲抑制、外部 DI 信号（强制全开、清零）
  环境温度	0～50℃，无结露、无冻结
  结构特点	一体化紧凑结构，节省设备内部安装空间

• 三、产品核心特点

• 一体化集成：流量计 + 控制阀 + 控制主板全部集成在一个单元，不用单独配流量计 + 电控阀，简化设备管路设计，适合设备狭小空间。

• 快速响应，抑制超调：步进电机 0.3s 全开全关，内置预测控制算法，流量切换时不容易出现流量冲高，湿法工艺非常关键。

• 宽量程 1:20，相比普通 MFC，小流量段控制稳定性更好，液体药液专用（液体，不是气体 MFC）。

• 丰富 I/O 与通讯

• 模拟：4-20mA，PLC 给设定值，同时回传实际流量；

• Modbus RTU 总线，多台组网；

• 数字输入：强制全开、复位清零等外部触发端子。

• 无油接液结构，PFA 耐强腐蚀，适配半导体、FPD、PCB 湿法清洗、蚀刻药液。

• 四、实际应用案例

• 半导体晶圆湿法清洗设备：超纯水、微量化学药液的定量供给、闭环恒流控制

• 显示面板 / PCB 行业，蚀刻、显影、剥离药液的精密流量配比

• 精密化工微量药剂加注、实验室高纯化学品定量输送

• 各类精密设备小流量水路闭环控制