TOFCO 东富科双通道超声波药液流量计USF500N/600N/560N 

CC 超音波流量計 USF500N/600N/560N 系列是一款基於超音波伝搬時間差方式（超音波傳播時間差法）的高性能流量測量儀器，專為純水、藥液（如 IPA、H₂O₂、H₂SO₄等）及漿料設計。

該儀器支持高達 200℃的高溫流體測量，並通過 NEW PFA 接液部材質確保耐腐蝕性。產品採用2 通道設計，有效實現設備省空間化，同時配備脫著式電纜，大幅簡化現場配線作業。

通信功能強大，支持 RS-485 (Modbus-RTU/USF 協議)，最多可連結 31 台變換器進行多點監測。數據更新周期快達 10ms，流量精度在出荷校正時可達±1% of R.D.，低流量區間精度優異。

適用場景

• 半導體晶圓製造清洗製程

• 化學藥品高精度輸送系統

• 高溫純水循環監測實驗室

• 型号区分（核心）

• USF500N：控制器搭配 USF500/500Z 传感器（标准型 / 高温型传感器，最高 90℃，高温版本最高 200℃）

• USF600N：控制器搭配 USF600 传感器，高温规格，耐温上限更高，适合高温药液

• USF560N：控制器同时混合接入 500 系 + 600 系两种传感器（1 路 500，1 路 600），双通道混合采集，节省控制柜安装空间.

• 亮点：2 通道共用一台变送器，设备内部多支路流量监测，相比 2 台独立 USF500S，大幅减少占用空间、减少布线。

• 一、测量原理

• 时间差式超声波测量；控制器内置 DSP 数字信号处理，提升抗气泡能力、信号稳定性与响应速度。 管路内部无浮子、无叶轮，无任何可动部件，不会堵塞、磨损，压力损失极低。

• 二、通用核心规格

• 项目	参数
  测量介质	超纯水、IPA、双氧水、HF、硫酸、磷酸、臭氧水等半导体腐蚀药液，含少量浆液
  流量量程（传感器可选）	0~3L/min、0~6L/min、0~20L/min、0~50L/min、0~80L/min
  精度	±1% RD（读数，10~100% 量程）
  接液材质	PFA 全接液，无金属接触，低离子析出，半导体高纯规格
  流体温度	标准 0~90℃；高温型号最高200℃
  最高使用压力	0.5MPa (G)（60℃以下）；高温段 0.2MPa (G)
  供电	DC24V±10%，最大消耗电流 170mA
  信号输出	4-20mA 模拟输出；脉冲 / 频率输出；报警输出；RS485 Modbus RTU，最多 31 台组网
  线缆	可拆卸分离式电缆；标准 3m PVC 屏蔽线缆，可选 ETFE 耐高温线缆
  通道	双通道（CH1、CH2 独立采集两路流量）

三、产品特点

1. 双通道一体化控制器，一台控制器同时采集两路管路流量，设备集成节省空间，湿法设备多路药液监测首选。

2. DSP 数字信号处理，抗气泡能力强，湿法药液微小气泡不易造成流量跳变，响应速度快。

3. PFA 全接液，耐强酸强碱，低析出，适配半导体、FPD、PCB 各类腐蚀药液、超纯水。

4. 可拆卸式传感器电缆，维护检修管路无需拆下控制器本体。

5. 支持 Modbus RTU 总线组网，多台流量计接入 PLC 集中采集；同时带 4-20mA 模拟量，兼容传统模拟采集。

6. 丰富数字输出：瞬时流量脉冲、累积流量脉冲、比较报警、故障报错输出。

四、实际应用案例

1. 半导体晶圆湿法清洗设备：多路超纯水、HF、H₂O₂、IPA 药液流量同时监测

2. 显示面板、PCB 蚀刻 / 显影 / 剥离多条药液回路流量采集

3. 光伏制绒、清洗工艺多支路药液流量监控

4. 精密化工多条高纯药剂输送管路同步测量