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仪器介绍
GG 面積式流量計 FC-CH22 是一款基於面積式流量測量原理的氣體流量監測儀器,採用丙烯酸樹脂(PMMA)主體結構,具有緊湊、簡單、清潔的特點。
該儀器核心用途為精確測量空氣、氮氣等氣體的瞬時流量,並可選配磁氣開關實現流量報警或控制功能。其測量精度為滿量程的±5%,最高使用壓力達 0.5MPa(G),適用流體溫度範圍為 0 至 55℃。
GG 面積式流量計 FC-CH22 適用於半導體製造工藝氣體監控、實驗室氣體管路流量檢測、工業自動化設備氣體供給系統等場景。
主體材質:採用 PMMA(聚甲基丙烯酸甲酯)材質,透明度高,便於直接觀察浮子位置讀取流量數據。
靈活的輸出選項:可選配磁氣開關,提供 NPN 或 PNP 輸出,接點形式包括 A 接點(設定值以上閉合)和 B 接點(設定值以下閉合)。
寬廣的流量範圍:針對空氣和氮氣提供多種流量範圍選擇,如 4~30 NL/min 和 6~50 NL/min。
耐腐蝕設計:關鍵部件如浮子採用 SUS316 或鈦合金材質,針閥採用 SUS304,適應多種氣體環境。
GG 面積式流量計 FC-CH22 的標準連接口徑為 Rc1/8,整體重量約 125g,便於集成安裝。電源電壓要求為 DC+12~24V,消耗電流小於 10mA。當使用環境溫度或流體溫度超過 45℃時,建議將使用壓力限制在 0.3MPa(G) 以下以確保安全運行。
FC-CH22 是 TOFCO 超小型亚克力本体面积式浮子流量计,专为设备面板嵌入集成设计。依靠浮子位置直观读取流量,无需供电即可现场观察。可选择G 后缀:内置精密针阀手动调节流量;选配 S 磁性开关,实现高 / 低流量数字报警信号输出到 PLC。气体、纯水、弱腐蚀液体两用,短交期、性价比高。
| 项目 | 参数 |
|---|---|
| 型号 | FC-CH22(后缀 G = 带针阀;S = 带磁性报警开关;W = 液体专用,GAS = 气体专用) |
| 测量介质 | 空气、氮气等洁净气体;纯水、弱腐蚀性液体 |
| 可选流量量程 | 气体:0.1~1NL/min、0.2~2NL/min、0.4~5NL/min、1~10NL/min;液体:0.1~1L/min、0.2~3L/min 等多档可选 |
| 精度 | ±5% FS(满量程) |
| 连接接口 | Rc1/8″ 内螺纹 |
| 最高使用压力 | 0.5MPa (G);流体温度>45℃时,建议≤0.3MPa (G) |
| 流体最高温度 | 55℃ |
| 环境温度 | 0~55℃(无结露、无冻结) |
| 本体材质 | 外壳 PMMA 亚克力;锥管硼硅玻璃;浮子 / 接头 SUS304;针阀 SUS316 |
| 密封件 | 标准 NBR,可选 FKM 氟橡胶 |
| 整机重量 | 约 125g |
| 安装方式 | 面板嵌入式安装 |
供电:DC12~24V ±10%
输出:漏极开路 NPN/PNP;A 型(高流量报警)、B 型(低流量断流报警)
最大耐压 30V,驱动电流≤100mA
标配 2 米屏蔽信号线
超小型紧凑结构,亚克力透明外壳,面板嵌入式安装,节省设备内部空间,适合设备批量配套。
可选一体式精密针阀,直接手动调节流量,无需额外加装调节阀。
透明可视玻璃锥管,断电依旧可以目视读取浮子流量。
量产机型,交期稳定,成本优势明显。
可加装磁性流量开关,断流 / 超流量时输出数字信号给到 PLC 做报警联锁。
结构简单,无易损耗件,维护简单。
半导体设备氮气吹扫、惰性保护气微量流量监测调节
自动化设备冷却纯水小流量就地观测
PCB、FPD 辅助气路、水路小流量监测
实验室小型管路气体、弱腐蚀液体流量监测