国内代理KURABO 仓纺在线药液浓度计Pro-2+（KIS-P 系列）

国内代理KURABO 仓纺在线药液浓度计Pro-2+（KIS-P 系列）

📋 基础核心参数

这款是KURABO仓纺KIS系列的标准型一体化近红外药液浓度监测设备，专为工业产线控制柜内嵌场景设计，核心硬件规格如下：

• ‌测量原理‌：近红外透射光谱检测，搭载八波长光学滤波，搭配仓纺自研主成分递回算法完成数据解析

• ‌检测能力‌：支持1～2种药液组分同步分析，关键药液如TMAH测量精度可达±0.1%，最短测量时长≤20秒

• ‌硬件规格‌：整机尺寸201×340×198mm，整机重量约11kg，适配AC220V工业标准供电，整机功耗≤30W

• ‌接液配置‌：流通池容积3ml，氢氟酸工况可选用蓝宝石材质，普通酸碱工况选用石英材质，接液部件搭配PFA、PTFE耐蚀密封件

• ‌接口配置‌：机身集成数字显示面板，配备DC4-20mA标准工业信号输出接口，可无缝对接产线PLC、MES中控系统

• ‌运行环境‌：适配10～30℃无凝露的洁净车间环境，被测药液温度需控制在25℃±5℃区间

🔍 核心技术特性

• ✅ ‌一体化紧凑设计‌：将测量光路、数据处理模块完全整合在单台机身内，无需分体布置，可直接装入产线标准电控机柜，老产线改造无需额外占用地面空间

• ✅ ‌工况抗干扰能力强‌：药液中存在少量气泡、轻微浊度以及小幅温度波动时，依然可以输出稳定的检测结果，适配工业现场复杂工况

• ✅ ‌低维护长寿命‌：无耗材设计，日常仅需定期清洁光学窗口，无需频繁更换试剂或易损件，设备设计使用寿命超10年

• ✅ ‌校准操作简便‌：使用25℃±1℃纯净水即可完成零点校准，现场运维人员可独立完成校准流程，无需专业人员上门操作

🛠 典型行业用途

这款设备是精密制造领域药液浓度管控的标杆机型，核心落地场景覆盖多个高附加值领域：

1. ‌半导体制造‌：用于晶圆湿法制程中各类清洗液、蚀刻液的在线浓度监测，精准把控SC-1、SC-2、HF等药液的组分比例，保障晶圆制程良率

2. ‌PCB线路板行业‌：适配蚀刻药剂、工艺清洗液循环管路的实时浓度监测，避免浓度异常导致的线路蚀刻精度偏差

3. ‌光伏新能源‌：用于硅片处理工序中各类化学药液的在线检测，保障硅片清洗、制绒等工序的工艺稳定性

4. ‌精细化工领域‌：针对化学药剂配比生产场景，实时监控药液组分浓度，保障不同批次产品的性能一致性

产品核心优势

1. 精度升级，捕捉微小浓度波动光学检测器与算法优化，TMAH 这类光刻显影药液精度提升至 ±0.01%，能够捕捉药液缓慢微量衰减，避免微小浓度漂移造成晶圆图形线宽异常，适配先进制程晶圆产线。

2. 新增 RS485 数字通讯，MES 对接更方便Pro-2 仅 4-20mA 模拟量；Pro-2 + 同时具备 4-20mA+RS485，可直接接入 MES 系统，完整上传浓度、报警、设备状态，满足半导体工厂全流程数据追溯要求。

3. 兼容旧 Pro-2 安装接口，改造替换成本低安装孔位、管路接口向下兼容原有 KIS 系列，老产线将 Pro-2 升级为 Pro-2 + 时，无需大幅改动管路与机柜，减少产线停机改造工时。

4. 耐强腐蚀接液材质，适配半导体全品类湿法药液PFA/PTFE + 石英 / 蓝宝石接液组件，耐受强酸、强碱、有机剥离液，无金属析出，满足高等级洁净晶圆制程。

5. 多组分同步在线监测，实现药液闭环自动补液可同时检测混合药液 2 种及以上组分，例如 SPM 硫酸 + 双氧水、SC1 氨水 + 双氧水；输出信号接入 PLC，浓度低于阈值自动启动加药泵补液，稳定药液组分，降低晶圆良率波动。

6. 光学非接触检测，维护量低无电极消耗件，不需要频繁更换探头；内置设备自检，故障、超量程报警输出，便于设备日常点检。

局限：仅支持透明 / 半透明药液；浑浊、高固含浆料无法测量。