KURABO 仓纺高性能旗舰在线药液浓度计Ace-3
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仪器介绍
KURABO 仓纺高性能旗舰在线药液浓度计Ace-3
一、产品概述
Ace-3（KIS-A 系列）是 KURABO 仓纺旗舰高性能多通道近红外在线药液浓度分析仪，为 AceⅡ 升级后继机型，原厂完整型号格式KIS-2XX-A，是整个 ChemicAlyzer 产品线最高端机型，面向 12 寸先进半导体晶圆制程、高端面板产线复杂混合药液监测。
定位：旗舰多组分机型，高于 Pro-2、Pro-2+；单机支持最多 4 种组分同步检测，最多可接入 8 种不同药液通道，一台设备管控多条药槽，减少产线设备数量，优化机柜布局。
二、测量原理
近红外透射分光法。特定波长近红外光穿透循环药液，依靠不同化学组分的特征红外吸收光谱，结合原厂专属校准曲线，实时解析混合药液内多组分浓度；光学非接触检测，无电极消耗件，不污染高纯洁净药液。
三、核心参数
| 项目 | 规格 |
|---|---|
| 产品型号 | ChemicAlyzer Ace-3（KIS-A 系列），完整型号 KIS-2□-A |
| 测量方式 | 近红外透射分光，多波长光谱解析 |
| 最小测量周期 | 2 秒，响应≤15s |
| 测量精度 | TMAH、SPM 等药液可达 ±0.005%，远高于 Pro-2+ |
| 接液部件 | 石英池版本：PFA、PTFE、石英、Perflu O 型圈蓝宝石池版本（强腐蚀）：PFA、PTFE、蓝宝石、Kalrez O 圈 |
| 管路规格 | 进管 Φ3×Φ2，出管 Φ4×Φ3，标配 1m 软管 |
| 最高耐受压力 | 0.2MPa |
| 信号输出 | 4-20mA 模拟量；RS485/RS422 数字通讯；开路集电极报警输出 |
| 输入信号 | 晶体管电流驱动输入（测量启动、校正、预热完成） |
| 整机尺寸 | W430 × D420 × H220 mm |
| 整机重量 | 约 28kg |
| 供电 | AC100~220V，50/60Hz，功率 150W |
| 使用环境 | 半导体洁净车间，温度 20~30℃，严禁结露，湿度≤80% RH |
| 安装方式 | 机架安装 / 机柜内嵌 |
四、产品核心优势
超强多组分检测能力单机最多同时监测 4 种成分，适配极复杂混合药液（MEA 有机剥离液、多组分蚀刻液）；最多支持 8 路药液通道切换检测，多条清洗槽共用一台设备，大幅节省洁净车间机柜空间与采购成本。
超高测量精度光学检测器与算法全面升级，微小浓度漂移捕捉能力更强，适合先进制程对药液管控极严苛的场景，稳定良率。
丰富数字通讯，MES 系统深度对接RS485/RS422 通讯接口，完整上传浓度、设备状态、历史记录、报警信息，满足半导体工厂全流程数据追溯要求。
耐强腐蚀接液材质，适配全品类半导体湿法药液PFA/PTFE + 石英 / 蓝宝石接液组件，无金属析出，适配高等级洁净晶圆制程。
内置自动校准、故障自诊断支持自动零点校正，设备异常、超量程报警输出，方便设备日常点检维护；光学非接触测量，无电极耗材，长期维护量低。
局限：仅支持透明 / 半透明药液；浑浊、高固含浆料无法测量。
五、行业用途（先进制程主力）
1、半导体晶圆制造（核心场景）
适用药液：SC1、SC2、SPM、BHF、TMAH、MEA 光刻胶剥离液、H₃PO₄、回收再生药液工艺用法12 寸先进制程晶圆湿法清洗、蚀刻、显影、光刻胶剥离工序，可同时监控 4 种组分；也可对多条药槽循环切换监测，替代多台单机浓度计；数据接入 MES，实现药液自动闭环补液，稳定晶圆颗粒去除与蚀刻线宽，降低批次不良。
特别适合：有机剥离液（MEA+BDG + 水 + 光刻胶）这类 4 组分复杂药液，Pro-2/Pro-2 + 无法做到 4 组分同步检测。
2、LCD/OLED 显示面板
面板 CELL、ARRAY 段蚀刻、显影、清洗工序，管控多组分磷酸混合蚀刻液、碱液。
3、光伏、晶体谐振器、光学元件
硅片制绒清洗液、晶体蚀刻液、光学镜片研磨清洗液浓度管控。
4、精细化工、医药
高纯试剂、反应釜多组分溶液在线监测。
