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仪器介绍
KURABO 仓纺小型一体化在线药液浓度计RD-10

RD-20 + 系列(RD-10/20/30)是仓纺紧凑型、设备嵌入型近红外在线浓度计,定位为 KIS 系列(Pro-2 / Pro-2+)的小型精简版,保留同等核心测量精度,大幅缩小体积、降低功耗,专门面向设备厂商 OEM 集成、小型湿法清洗设备、紧凑型机柜。
型号区分:
RD-10:基础款,单组分检测
RD-20:主流款,最多双组分同步检测(市场最常用)
RD-30:高配款,双组分,拓展报警与通讯功能 完整型号格式:RD-2□-P,方框字符代表适配药液种类
定位排序(仓纺全线):Ace-3(旗舰)>Pro-2+>Pro-2>RD-20+(紧凑型 OEM 款)
近红外透射分光法,和 Pro、Ace 系列原理完全一致。特定波长近红外光穿透药液,根据组分特征吸收光谱,实时计算药液浓度;光学非接触式检测,无电极耗材,不污染洁净药液。
| 项目 | 规格 |
|---|---|
| 产品型号 | ChemicAlyzer RD-20 + 系列(RD-10/20/30) |
| 测量方式 | 近红外透射分光法 |
| 测量周期 | 2 秒 |
| 测量精度 | 和 Pro 系列同等水平;TMAH 可达 ±0.05%,常规酸碱药液 ±0.1% |
| 接液部件 | PFA、PTFE、石英 / 蓝宝石、Kalrez O 型圈(和 KIS 系列材质一致) |
| 管路规格 | 进管 Φ3×Φ2,出管 Φ4×Φ3 |
| 最高承压 | 0.2MPa |
| 信号输出 | 4-20mA 模拟量;开路集电极报警输出;RD-20/30 支持 RS485 通讯 |
| 供电 | DC24V,30W,低功耗 |
| 整机尺寸 | W176 × D288 × H176 mm |
| 整机重量 | 约 6kg,轻量化 |
| 结构 | 无风扇密闭防尘结构(Fanless),抗粉尘、防结露 |
| 使用环境 | 10~30℃,无凝露,湿度≤80% RH |
| 安装方式 | 设备内嵌、机柜内安装,OEM 集成首选 |
超紧凑体积,OEM 设备集成专用整机仅 6kg,尺寸小巧,可以直接嵌入小型清洗机、湿法处理设备机柜内部,不像 Pro/Ace 需要独立壁挂空间,非常适合设备整机配套。
无风扇密闭结构,环境耐受性强Fanless 无风扇设计,无尘、无气流扰动,不会吸入洁净车间粉尘,适合半导体小型清洗设备、密闭工艺腔体内部安装,故障率更低。
精度不缩水,成本更优核心光学检测单元和 Pro 系列同源,精度保持不变;简化外壳与人机操作面板,价格比 Pro-2 + 低,适合设备厂商批量配套。
低功耗 DC24V 供电工业设备通用 DC24V,方便直接接入设备 PLC 供电回路,不用单独接 AC220 电源。
耐强腐蚀接液材质PFA/PTFE + 石英 / 蓝宝石,适配半导体各类湿法强酸强碱药液,满足高洁净制程。
局限:只支持透明 / 半透明药液;不支持 4 组分检测,无法像 Ace-3 做多通道切换,单台只能一路药液监测。
适用药液:SC1/SC2、SPM、TMAH、BHF、磷酸蚀刻液、IPA 工艺场景:小型晶圆清洗机、单片式清洗设备、封装清洗、载台清洗、小型蚀刻设备;设备整机厂(OEM)直接嵌入设备内部,随整机出货。
像兢地智能这类设备集成商,做小型清洗 / 湿法设备时,RD 系列是优选。
玻璃、光学镜片、薄膜的小型清洗、显影设备内嵌在线浓度监测。
小型湿法蚀刻、清洗工序,紧凑型产线机柜。