KURABO 仓纺嵌入式在线药液浓度计RD-30
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仪器介绍
KURABO 仓纺嵌入式在线药液浓度计RD-30
RD-30 属于 RD-20 + 系列（RD-10/20/30）高配通讯增强机型，和 RD-20 硬件本体尺寸、光学检测单元完全一致，在 RD-20 基础上强化报警、事件日志、诊断功能，适配对设备故障追溯、报警管理要求更高的 OEM 湿法设备。
完整型号格式：RD-2□-P，□为药液代码；RD-10（单组分基础款）、RD-20（双组分通用款）、RD-30（双组分增强款）
一、测量原理
近红外透射分光法，与 Pro、Ace 系列原理同源。特定波长红外光穿透药液，依靠组分特征吸收光谱，实时计算药液浓度；光学非接触检测，无电极耗材，不会污染高纯洁净药液。
二、核心参数
| 项目 | 规格 |
|---|---|
| 型号 | ChemicAlyzer RD-30 |
| 测量方式 | 近红外透射分光法 |
| 测量能力 | 最多双组分同步检测 |
| 最小测量周期 | 2 秒 |
| 测量精度 | TMAH ±0.05%；常规酸碱清洗液 ±0.1%（和 RD20 精度一致） |
| 接液部件 | 石英池：PFA、PTFE、石英、Perflu O 圈蓝宝石池：PFA、PTFE、蓝宝石、Kalrez O 圈 |
| 管路规格 | 进管 Φ3×Φ2，出管 Φ4×Φ3，标配 1m 软管 |
| 最高承压 | 0.2MPa |
| 信号输出 | 4-20mA 模拟量；RS485 Modbus 数字通讯；多路开路集电极报警输出（就绪、故障、上下限、预警） |
| 增强功能 | 事件日志记录、详细设备自诊断、多点报警阈值设置、远程状态读取（RD20 不具备完整日志功能） |
| 供电 | DC24V，30W，工业低压供电 |
| 整机尺寸 | W176 × D288 × H176 mm |
| 重量 | 约 6kg，轻量化 |
| 结构 | 无风扇 Fanless 密闭防尘结构，无气流扰动，洁净室可用 |
| 使用环境 | 10~30℃（严禁结露），湿度≤80% RH |
| 安装方式 | 设备内嵌、机柜机架安装，OEM 集成首选 |
三、产品核心优势
紧凑机身，OEM 设备内嵌体积小巧，可直接内置在单片清洗机、小型湿法设备机柜，不需要独立壁挂空间，适合整机设备配套。
Fanless 无风扇密闭结构无风机，不吸入粉尘，不会扰乱洁净室层流，降低颗粒污染风险，故障率更低。
DC24V 低压供电直接对接设备 PLC 供电回路，布线简单，是半导体设备标准供电规格。
RD20 功能增强版，日志 + 多路报警
RD-20：基础 RS485，仅简单报警；
RD-30：增加事件记录、详细故障诊断、多段预警报警，可以记录浓度历史、设备异常事件，方便工厂追溯、设备运维排查，适合终端客户 MES 追溯要求高的项目。
耐强腐蚀接液材质PFA/PTFE + 石英 / 蓝宝石，适配半导体各类强酸强碱清洗、蚀刻药液。
局限：仅支持透明 / 半透明药液；单台只能接入 1 路药液管路，不支持 Ace-3 多路药液切换。
四、行业用途
1、半导体（核心场景）
适用药液：SC1、SC2、SPM、TMAH、BHF、磷酸蚀刻液、IPA 工艺场景：单片式小型晶圆清洗机、半导体封装清洗、载台清洗、小型蚀刻设备；设备厂商 OEM 内置，适合终端客户对报警、数据追溯有要求的项目。
兢地智能这类视觉 / 湿法设备集成商，做带完整产线追溯的小型清洗设备，RD-30 是优选。
2、面板、光学元件制造
玻璃、光学镜片、光学薄膜小型清洗、显影设备内嵌浓度监测。
3、功率器件、MEMS、晶体谐振器
小型湿法蚀刻、清洗工序紧凑型机柜配套。
