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光谱范围
紫外
按探测器
CCD
光谱范围
220nm~1000nm,完整覆盖紫外、可见光至近红外常规检测波段,适配绝大多数常规光学检测场景。
分辨率
可根据选配入射狭缝规格灵活调整,常规标配10μm狭缝时分辨率可达1.5nm,支持5μm~1000μm多档狭缝自定义选配。
灵敏度
搭载优化分光光路与高灵敏CCD探测芯片,暗噪声控制在极低水平,可精准捕捉微弱的特征光谱信号。
信噪比
常规工况下信噪比可达300:1以上,搭配自动基线校准模块,可大幅削弱环境光线、温度漂移带来的数据偏差。
动态范围
整机动态范围可达16-bit级别,透射/反射测量的长期稳定性可控制在±0.2%以内。
杂散光
内置专用杂光抑制结构,整机杂散光水平可控制在0.1%以下,保障高浓度样品检测时的数值准确性。
仪器介绍
日本 Lambda Vision拉姆达模块化光纤光谱仪SA-100 系列
株式会社 Lambda Vision(ラムダビジョン,拉姆达),日本专业光学膜厚与光谱测量设备厂商,SA-100 是其模块化光纤光谱仪,主打紧凑型、可定制、OEM 集成友好,面向半导体、显示、光学材料研发与工业在线检测。
核心特点:切尔尼 - 特纳(Czerny-Turner)光栅分光结构,内置电子快门,自动背景扣除;探测器采用滨松 CCD/InGaAs 传感器,支持 USB2.0 标准通讯,可选 PCI 高速接口。整机体积小巧,可独立实验室使用,也可嵌入自动化设备、显微光学系统做在线光谱采集。
| 型号 | 波长范围 | 特点 | 适用场景 |
|---|---|---|---|
| SA-100A | 220~1000nm(紫外 - 可见光) | 基础款,无内置光源,外接光源 / 光纤探头 | 反射、透射、荧光、光源光谱检测,最常用 |
| SA-100W | 220~1000nm(紫外 - 可见光) | 内置标准光源,开箱即可直接做透射 / 反射测试,无需额外配光源 | 快速样品比对、实验室简易膜厚测试,研发小样快速评估 |
| SA-100VR | 220~1650nm(紫外 + 可见 + 近红外) | 双探测器(CCD+InGaAs),覆盖紫外到近红外宽波段 | 含近红外波段薄膜、红外光学材料、有机材料、涂层检测 |
光学结构:Czerny-Turner 光栅分光,光栅、狭缝可按需更换,模块化定制
AD 转换:16bit
曝光时间:7ms~20min 大范围可调,弱光样品长曝光采集
接口:标配 USB2.0;可选 PCI 高速接口(最低 4ms 高速采集,适合产线在线)
光纤接口:SMA/FC 可选,光纤长度可定制
内置电子快门:自动暗电流采集、背景扣除,提升测试稳定性
杂散光:<0.1%
光谱分辨率:约 0.8~2nm(取决于狭缝与光栅选配)
模块化高度可定制:光栅、狭缝、探测器、波段可按客户样品需求定制,不是固定参数的通用成品,可适配特殊光学实验。
内置快门:自动扣除暗噪声,减少人工操作误差,长时间连续测试稳定性好,适合洁净室环境。
日本原厂光学标定:出厂波长、响应度校准,配套原厂光谱分析软件,可直接计算膜厚、反射率、透射率、色度、吸收率。
集成友好:体积小,可集成到显微分光系统、自动化检测平台、在线产线,大量搭配同品牌 TFW 膜厚系统配套使用。
兼顾科研研发与工业质检,相比大型台式分光光度计,速度更快、成本更低、光路搭建灵活。
薄膜膜厚测量:利用光谱干涉原理,测试硅晶圆表面氧化层、光刻胶、介质层、钝化膜等纳米级薄膜厚度;可搭配显微探头,测量晶圆微小区域的局部膜厚。
光学特性检测:晶圆表面薄膜反射率、透射率、吸收率测试;光刻胶曝光前后光谱变化评估。
光源光谱标定:检测 UV 曝光光源、卤素光源、氙灯光谱输出,监控光源老化衰减(和山田光学、USHIO、SERIC 光源配套测试)。
光学窗口、石英基板、掩膜版保护薄膜的光谱性能评价。
玻璃基板、ITO 导电膜、彩膜、光刻胶彩色滤光片、偏光片、各类光学薄膜的透射 / 反射光谱测试。
薄膜厚度测量、色度、色坐标、亮度均匀性评估;
面板材料老化实验,光照前后光谱变化比对。
光学镜片、滤光片、镀膜元件的透过率、反射率光谱检测;
光学涂层、AR 增透膜、高反膜光谱特性评价;
光源光谱检测:LED、卤素灯、氙灯、UV 光源光谱采集与光强标定。
有机薄膜、高分子涂层、凝胶、液体样品的吸收光谱、荧光光谱测试;
光致变色材料、光催化材料光照下光谱动态监测;
量子效率 QE 测试(可组建 QE-SA100 量子效率测试系统,用于光电材料、光伏样品);
光学教学实验、光谱基础研究。
嵌入自动化设备,用于产线连续在线光谱监测:薄膜涂布在线监控、印刷品颜色在线检测、涂层一致性筛查。
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