Shibuya涉谷光学大像圈定焦检测镜头F90-M72
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核心参数
核心参数
组件类别
其他
仪器介绍
Shibuya涉谷光学大像圈定焦检测镜头F90-M72
高分辨率大面积（φ67）兼容传感器镜头
该产品兼容 φ67mm 成像圈和大面积传感器的镜头。浮动设计根据放大倍率移动镜头组，抑制了整个工作距离内的像差。
φ67毫米，3.5微米/像素
轮廓视图：
部件名称：
* FB（法兰背）校正环：该环用于调节法兰后方，并在镜头与图像传感器之间盖板玻璃厚度变化时校正光路长度的变化。通常，请在锁着的时候使用。
规格
全称：F90-M72 高分辨率大面积面阵传感器工业检测镜头（高精細大型 φ67 エリアセンサー対応レンズ）
定位：大像圈定焦检测镜头，不是显微镜物镜（HLB 是物镜，F90-M72 是相机镜头），适合大面积面阵相机，搭配你前面 YP-250IL 同轴光源做晶圆 / 玻璃基板的宏观大面积外观检测。
一、核心规格
| 项目 | 参数 |
|---|---|
| 型号 | F90-M72 |
| 焦距 | 90 mm |
| 最大像圈 | φ67 mm（支持超大靶面相机） |
| 接口 | M72 螺纹接口（M72×0.75） |
| 光圈 | 手动光圈 F4.8 ~ F16 |
| 对焦 | 手动对焦，浮动镜头组设计（核心卖点） |
| 最短拍摄距离 | 560 mm |
| 滤镜螺纹 | M55，可直接加装滤光片 |
| 像素适配 | 推荐 3.5μm/pixel 像素相机，高分辨率 |
倍率 & 工作距离对照表（关键）
| 倍率 | 传感器面到工件距离 (WD) |
|---|---|
| -0.25x | 560mm（最近对焦） |
| -0.15x | 820mm |
| -0.10x | 1350mm |
| -0.06x | 2340mm |
| -0.03x | 4750mm |
二、产品特点
超大 φ67mm 像圈可以搭载大靶面面阵相机，一次性拍摄更大的工件视场，适合整片晶圆、大尺寸玻璃基板宏观外观拍照，不用多次拼接图像。
普通工业镜头像圈大多只有 43mm/46mm，这款是涉谷专门针对大面积检测开发。
浮动镜头组（Floating）普通镜头只在设计距离画质最优；F90-M72 内部镜组随对焦联动移动，从最近 560mm 一直到数米远距离，全距离抑制畸变、色差，中心 + 边缘分辨率都很高。适合产线工位固定距离，也可以做样品台移动的多距离检测。
手动光圈 + 手动对焦 光圈 F4.8 起步，最大光圈足够亮，搭配 YP-250IL 高照度同轴光源，缺陷对比度充足；收光圈到 F16 可以加深景深，看表面高低起伏的抛光瑕疵。
M72 大口径接口 M72 接口多用于大靶面科研 / 工业相机；可配转接环转其他相机接口。M55 滤镜座，方便加装偏振片、窄带滤片、红外滤片。
三、实际用途 & 落地案例（和你 YP-250IL 光源组合）
⚠️区分：HLB 物镜 = 显微镜小视场微观划痕；F90-M72 = 大靶面相机宏观大面积成像，两种搭配方案不一样。
案例 1：8 寸 / 12 寸硅晶圆 CMP 抛光后大面积宏观检测（最常用）
配置方案：YP-250IL 同轴光源 + F90-M72 + 大靶面面阵相机
用途：一次性拍摄整片 / 大半片晶圆，检查大范围雾度、抛光不均、区域性滑移线、大面积脏污；微观细小划痕用 HLB 物镜，整片宏观区域缺陷用 F90-M72。
优势：φ67 大像圈减少图像拼接，浮动镜头保证整片画面边缘不糊，适合自动化拍照存档、AI 缺陷检测。
案例 2：LCD/OLED 大尺寸玻璃基板、载板外观抽检
大面积基板表面研磨斑纹、水渍、区域性镀膜缺陷检测。
工位工作距离一般 800~1300mm，正好落在 F90-M72 的 0.1~0.15 倍区间。
案例 3：光学面板、蓝宝石 / 碳化硅衬底整面外观检查
大尺寸衬底的全域雾度、脏污宏观筛查；微观点位再用显微镜物镜复检。
案例 4：精密金属超抛光大板、光学窗口大面积质检
镜面抛光板材，同轴照明 + 大靶面镜头，一次性看大范围表面状态。
