Shibuya 涉谷光学连续变倍单筒视频显微镜 SZ7
400-616-7676转3323
核心参数
核心参数
组件类别
其他
仪器介绍
Shibuya 涉谷光学连续变倍单筒视频显微镜 SZ7 
SZ7 是电动 / 手动连续变倍单筒显微镜头主机（无目镜，接工业相机成像），同系列还有 SZ7chi（内置同轴 LED 照明版本），半导体、面板行业外观缺陷检测常用，可搭配 YP-250IL 同轴光源使用。
一、完整规格参数
| 项目 | SZ7 参数详情 |
|---|---|
| 型号 | SZ7（SZ7chi 为内置同轴光版本） |
| 变焦倍率范围 | 0.7X～5X（连续无级变焦） |
| 标配物镜 | 1X 标准物镜 |
| 工作距离 WD | 105 mm（固定） |
| C 口倍率 | 0.4X（C-mount 相机接口） |
| 综合成像倍率 | 0.28X ~ 2X（相机端） |
| 光学特性 | 全程齐焦设计；多层可见光增透膜；低畸变、大景深 |
| 接口 | 标准 C-mount，兼容市面绝大多数面阵工业相机 |
| 本体重量 | 1.25 kg |
| 配套支架 | 可选 SZ7A1 调焦托架、立柱支架 |
| 照明 | 本体不带内置光源，可外接同轴光源（YP-250IL）、环形光源 |
| SZ7chi 差异点 | 自带 0.25W 内置 LED 同轴落射照明；WD=100mm；变焦 1X~7X；重量 1.46kg |
光学核心优势：全程齐焦
在 0.7~5X 任意倍率调节时，不用重新对焦，切换倍率画面始终保持清晰。产线检测工位，高低倍率切换观察缺陷（低倍找缺陷位置，高倍放大看划痕 / 颗粒细节），效率很高。
二、产品核心特点
连续无级变倍 + 齐焦性能0.7 倍低倍率大范围扫视工件表面，5 倍高倍率放大观察微小缺陷；变焦过程保持焦点不变，自动化设备可电动变焦版本接入程序控制。
低畸变，多层 AR 镀膜减少杂散光与图像畸变，搭配 SNR-T50 消光黑膜贴镜筒内腔，进一步抑制迷光，提升缺陷对比度，非常适合镜面抛光样品（晶圆、蓝宝石、玻璃基板）。
C 口标准化设计直接接普通工业面阵相机；可自由选配前置物镜（0.5X、2X 等扩展 WD 与倍率）。
分体式照明设计（SZ7 标准版）本体不带光源，可灵活外接山田 YP-250IL 同轴光源，做镜面工件表面缺陷检测；不局限内置光源，光路方案自由度更高。
SZ7chi 版本自带同轴 LED，适合简易手动工位；自动化设备大多选 SZ7 外接大功率 YP-250IL。
三、实际案例用途（和你整套光路配套）
案例 1：硅晶圆 CMP 抛光缺陷检测（最常用）
工位方案：SZ7 变倍镜筒 + 工业相机 + YP-250IL 同轴光源
0.7~1X 低倍率：大范围扫描晶圆，快速定位区域性雾面、脏污、滑移线；
3~5X 高倍率：放大观察微米级划痕、微小颗粒缺陷；
齐焦特性：切换倍率无需重新对焦，产线抽检效率高。镜筒内壁贴 SNR-T50 涉谷消光黑膜抑制杂散光。
案例 2：蓝宝石、碳化硅衬底外观质检
镜面衬底表面微小划伤、麻点检测，同轴照明 + 连续变倍，兼顾大范围搜寻和微观放大复检。
案例 3：LCD/OLED 玻璃基板、光学镜片表面缺陷检查
面板基板划痕、镀膜不均、异物检测；手动抽检台、半自动视觉检测设备。
案例 4：精密零部件、五金抛光件外观检测
精密金属件表面裂纹、毛刺、抛光纹路检查。
案例 5：实验室样品观察、FA 失效分析
半导体失效分析实验室，样品快速高低倍率切换观察。
