进口FLUORO 福乐紧凑型无油隔膜真空泵FV-10

进口FLUORO 福乐紧凑型无油隔膜真空泵FV-10 

一、产品基础概述

FV-10 为小型桌面干式无油电磁隔膜真空泵，专为半导体洁净室手动真空吸笔配套开发，无需外接空压机，通电即可产生真空负压；负压支持无级旋钮调节，适合薄晶圆、芯片、光学衬底等易碎、易静电损伤工件的精细取放。整机体积小巧、噪音低、无油无污染，是实验室、探针台、外观检验工位最常用的真空动力单元。 型号细分：FV-10-110（AC100V）、FV-10-240（AC220~240V，国内常用版本）。

二、核心技术参数

• 真空负压：-3～-14kPa，无级连续可调（旋钮控制吸力，可轻柔拾取薄片）

• 空载流量：2.8 L/min

• 额定功耗：≤5.0W，低功耗

• 外形尺寸：155 ×72 ×54 mm

• 整机重量：600g，桌面小型轻量化

• 驱动方式：电磁驱动隔膜，无油干式，无油雾污染

• 设计耐久寿命：≥9000 小时

• 可选配件：导电 PVC 防静电气管、泵进气过滤器、吸笔固定支架

• 适配吸笔：F001、F002、C001、C002 全系列 FLUORO 真空吸笔；兼容 41 硅橡胶吸盘、66 多孔、99 Y 型等全部吸嘴

三、产品核心特点

1. 负压无级可调，精细控制吸力（最大亮点）

区别于固定负压泵，FV-10 旋钮可由弱到强连续调节真空吸力。拾取超薄硅片、易碎光学基板时调低负压，防止吸变形、吸破工件；拾取较重晶圆时调高吸力，兼顾安全与柔性取料。

2. 无油干式隔膜，洁净室适用

泵内部无润滑油，不会产生油雾回流污染晶圆、光学元件；隔膜带 PTFE 涂层，耐受乙醇、丙酮、弱酸弱碱蒸汽，满足 Class10~1000 洁净环境。

3. 小巧静音，桌面即插即用

体积小重量轻，直接放置在显微镜、探针台、检验工作台；封闭式壳体降噪，运行噪音很低，适合实验室长时间作业。不需要空压机、储气罐，只接市电即可工作，搭建手动晶圆拾取系统非常简单。

4. 低维护长寿命

电磁驱动结构，没有齿轮磨损，日常几乎免维护；仅需定期更换进气过滤滤芯，运维成本低。

5. ESD 防静电系统配套

可搭配原厂导电气管、防静电吸笔、导电 PEEK 吸嘴，整套系统抑制静电，保护 CMOS 芯片、光刻图形晶圆，防止静电击穿器件。

限制说明

极限负压偏低（最高仅 - 14kPa），适合轻薄小尺寸晶圆 / 芯片；大重量厚晶圆、高负载场景推荐 FV-30 等高负压型号。不适合大量强腐蚀药液蒸汽长时间吸入。

四、典型应用场景

1. 半导体实验室：4/6/8 英寸硅片、裸衬底手动取样、外观检验

2. 芯片封装：晶粒、薄芯片拾取转移

3. 光学行业：蓝宝石、石英玻璃基板、光学镜片取放

4. 探针台、显微镜工位：小样品人工转移

5. 研发小批量产线：搭配 F001 真空吸笔 + 41/66/99 吸嘴，构成完整手动真空拾取系统

五、案例分析

案例 1：半导体材料实验室，超薄 8 寸薄硅片拾取防破损

背景材料研发实验室，需要人工转移 8 英寸超薄抛光硅片，使用空压机 + 调压阀方案：压力很难微调，吸力偏大时容易把薄硅片吸凹陷、碎裂；空压机噪音大，管路复杂占用空间。需要一套洁净、吸力可调、简易的手动真空取片系统。

解决方案FLUORO FV-10 真空泵 + F001 真空吸笔 + 41 硅橡胶吸盘。

• FV-10 旋钮精细调低负压，柔和吸附超薄晶圆；

• 无油干式，不会污染抛光镜面；

• 桌面小型，直接放置在检测台，省去空压机。

实施效果薄晶圆碎裂不良大幅降低；系统搭建简单，随时移动工位；洁净度满足裸硅片实验要求，长期稳定运行，仅定期更换滤芯。

案例 2：光学器件产线蓝宝石衬底抽检

背景光学产线，蓝宝石衬底人工抽检，衬底镀膜极易划伤；工件重量轻，需要可控柔和吸力；产线洁净车间，禁止油雾污染。

方案FV-10（AC220V）+C002 防静电吸笔 + 41 硅橡胶吸盘，干式洁净取片。

效果吸力可调，不会压伤镀膜；无油污染，满足洁净管控；整机低噪音，适合检验工位长时间操作。